钟楼区工业真空搬运机

    轻型真空搬运机的制作方法技术领域：本实用新型提供一种轻型真空搬运机，属于搬运机的技术领域。背景技术：现有的搬运机，不只只能适用于大型物体的搬运，且结构复杂，制造成本高。发明内容为解决上述问题，本实用新型提供一种适用于小型物体的搬运，且结构简单、制造成本低的轻型真空搬运机。为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为一种轻型真空搬运机，包括立柱、支柱、旋臂、斜拉杆、真空泵、连接管、搬运管、真空吸盘装置；支柱包括套置在固定柱外壁上的旋转轴套，固定柱固定在立柱的上端，旋臂一端直接与旋转轴套固定连接，另一端则通过斜拉杆与旋转轴套固定连接；连接管一端与真空泵连通，另一端与搬运管连通，真空吸盘装置安装在搬运管的底端，搬运管滑动连接安装在旋臂上。作为上述方案的进一步设置，所述固定柱通过上盖和下盖固定在立柱上。所述固定柱与旋转轴套之间且由上而下依次安装有并帽、垫圈、上轴承、下轴承。所述旋臂一端直接与旋转轴套的下端固定连接，另一端则通过斜拉杆与旋转轴套的上端固定连接。所述旋臂的下端面上开设有导轨，搬运管的顶端与导轨滑动连接。所述导轨上还滑动连接有数个挂钩，靠近搬运管端的连接管通过挂钩安装在旋臂上。江宁区米袋真空搬运机推荐厂家！钟楼区工业真空搬运机

    另外加上海绵吸盘唇，确保吸盘能安全吸附。对于表面比较光滑的工件如玻璃一般选用天然橡胶或者丁腈胶吸盘。机械手的工作环境的温度，湿度以及工件温度等都会影响的吸盘材质的选择。权利要求1.一种新型真空搬运机械手，含有万向轮、移动小车、拉杆、立柱、主升降气缸、主旋转座、主旋转轴、主关节锁死装置、大侧板、摆动主臂、摆动副臂、副关节锁死装置、连接板、横臂旋转座、旋转臂主轴、旋转臂、垂臂旋转座、副旋转轴、下垂臂、扶手、真空吸盘，其特征是移动小车截面呈长方形，其底部四角各设有一万向轮，移动小车顶端中部设有立柱，左侧设有拉杆，立柱顶端设有主旋转座，可旋转360°，主旋转座通过主旋转轴与大侧板相连接，立柱顶端与大侧板右侧下端相连接，大侧板内设有气压控制阀，气压控制阀与主升降气缸相连接，大侧板左侧下端设有主升降气缸，大侧板上设有内侧板，主旋转座和大侧板之间设有主关节锁死装置，摆动主臂和摆动副臂一端分别与大侧板相连接，另一端分别与连接板相连接，摆动主臂位于摆动副臂下侧并与摆动副臂相平行，横臂旋转座通过旋转臂主轴与旋转臂相连接，旋转臂可旋转300°，旋转臂和横臂旋转座之间设有副关节锁死装置，旋转臂末端设有垂臂旋转座。黄浦区真空搬运机哪里可以买到六合区粉尘真空搬运机推荐厂家！

    控制头19包括顶端开设有开口一22、底端开设有开口二23的壳体24，开口一22与搬运管15底端连通，开口二23通过数根支管29与各吸盘20——对应连通(即一根支管29连通一个吸盘20)，开口二23上设置有位于壳体24内的阀门，阀门底部的触头螺栓26位于壳体24外部，且触头螺栓26的底面低于吸盘20的吸附接触面(本实施例的各吸盘20位于同一水平面上)，操作手柄21固定在控制头19上。其中，控制头19带有真空表27，以便于随时了解控制头19内的真空度情况；操作手柄21为带旋转手把的操作手柄，可随意控制搬运管15的上升、下降，以方便搬运。其中，阀门包括阀片25和数根外壁上套置有弹簧28的光杆螺杆29，光杆螺杆29均匀分布并固定在开口二23的四周，阀片25配合将开口二23封闭并活动套置在各光杆螺杆29下端，同时由弹簧28抵住。本实用新型对被搬运物体的搬运动作过程如下开启真空泵13，在真空吸盘装置对着被搬运物体下压的过程中，其触头螺栓26会先触碰到被搬运物体，在触头螺栓26的向上推力作用下，阀片25被顶开，真空作用力依次通过开口二23、支管29进入吸盘20，终实现对被搬运物体的吸附、搬运。搬运到位后，关闭真空泵13，阀片25在弹簧28的弹性恢复作用力下被顶回原位，将开口二23密封。

本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。六合区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！

    能够将在第1、第二处理装置tl1、tl2之间产生的空间作为保管区域有效地活用。针对保管架80的保管部320，第1、第二起重机40能够进行物品2的交接。另外，针对保管架80的上表面80a的交接端口330，第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50双方能够进行物品2的交接。另外，第1、第二起重机40a、40b能够在保管部220与保管部320之间搬运物品2。此外，在图10中，示出设置保管部220和保管架80双方的例子，但也可以代替该结构，是在装载端口lp的上方不设置保管部220，在第1、第二处理装置tl1、tl2与第1、第二处理装置tl1、tl2之间(或者装载端口lp与装载端口lp之间)设置保管架80的结构。例如，也可以是在图1所示的第1处理装置tl1与第1处理装置tl1之间、或者第二处理装置tl2与第二处理装置tl2之间(或者装载端口lp与装载端口lp之间)设置保管架80的结构。根据该结构，与上述相同地，能够将在第1、第二处理装置tl1、tl2间(装载端口lp间)产生的空间作为保管区域有效地活用。这样，通过配置保管部220、和具备保管部320的保管架80，在搬运系统100中，能够容易地使物品2的保管数量增大。此外，在搬运系统100中，保管部220或者保管架80的设置数量能够任意地设定。以上，对实施方式进行了说明。溧水区多功能真空搬运机推荐厂家！黄浦区真空搬运机哪里可以买到

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    并在与作为搬运目的地的第二交接端口30b对应的位置停止。接着，高架搬运车50使横向伸出机构55向+x方向或者-x方向突出，驱动升降驱动部54并通过保持部53将物品2载置于第二交接端口30b。通过以上的动作，能够将物品2从第1保管区域sa1搬运至第二保管区域sa2。此外，在上述的实施方式中，示出将物品2在第1保管区域sa1与第二保管区域sa2之间进行搬运的例子，但通过与上述相同的动作能够将物品2也在第1保管区域sa1与其他保管区域之间、或者在第二保管区域sa2与其他保管区域之间进行搬运。另外，载置于其他保管区域的交接端口的物品2被存在于该保管区域的起重机搬运至保管部或者处理装置的装载端口这点如上所述。如上所述，根据本实施方式所涉及的搬运系统100，第1、第二起重机40a、40b能够边行驶边使第1、第二升降台43a、43b升降，因此与必须在停止后使保持部53升降的高架搬运车50相比，物品2的移送所需要的时间更短，能够使区段内(第1、第二保管区域sa1、sa2内)的物品2的搬运效率提高。并且，通过第1、第二起重机40a、40b进行区段内的物品2的搬运，从而能够使物品2的保管数量增加。另外，高架搬运车50不具有第1、第二起重机40a、40b的第1、第二桅杆42a、42b那样的垂下的部件。钟楼区工业真空搬运机

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